Karakteristike proizvoda
Podržava više verzija (PLC/PC) i različite mainstream komunikacijske protokole;
Projektovanje i proizvodnja izvedena u skladu sa SEMI bezbednosnim proizvodnim standardom;
Veliki kapacitet dizajna kanala, UPH400~550kom;
Pogodno za više dimenzija proizvoda i časopisa;
Patentirani dizajn MFC nivoa pločice, koji sprečava curenje gasa da izazove sigurnosne nesreće (podržava visoko-rizične gasove kao što je vodonik);
Patentirani dizajn visoke zaptivne komore, do 5pa;
Ugao kontakta sa vodom<10° (related to the material of product surface);
Dizajn četiri kanala za istovremenu obradu 4 proizvoda, sa dvostrukim donjim elektrodama, smanjujući vrijeme za ulazak i izlazak ploče, značajno poboljšavajući efikasnost i osiguravajući ujednačenost proizvoda u obradi.
tehničke specifikacije
|
Funkcionalna konfiguracija |
Technical Parameters |
|
|
D׊×V(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Oprema |
Neto težina (kg) |
1000 |
|
Periferni razmak (mm) |
600 pozadi, 600 sa obe strane |
|
|
komora |
Volumen (L) |
Oko 9 |
|
Kanal(br.) |
4 |
|
|
Donja elektroda (kom.) |
2 (funkcija prijelaza) |
|
|
Način hranjenja |
Magazine |
|
|
Prilagodljiva dimenzija proizvoda (mm) |
Širina:40-100 Dužina:150-300 |
|
|
Elektroda |
Dimenzija elektrode (mm) |
528×300 |
|
RF napajanje |
Standardna snaga (kW) |
1 |
|
Frekvencija (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kontrola gasa |
Do tri kanala |
2 kanala (standardno), 3 kanala (opciono) |
|
Kontrolni sistem |
Ljudsko{0}}mašinski interfejs |
PC+touch screen |
|
Udaljeno sučelje |
Komunikacija |
Opciono |
|
Vakum pumpa |
Opciono suva pumpa |
17CFM |
|
Opciona pumpa za ulje |
195CFM |
|
|
Opciona suva pumpa sa funkcijom pražnjenja |
DA |
|
|
Brzina protoka pročišćavanja dušikom (SLM) |
2 |
|
|
Vrijeme usisavanja (S) |
10月15日 |
|
|
Vrijeme prekida vakuuma (S) |
3-4 |
|
|
Tvornički objekti |
Napajanje |
Tro-fazni 380V50/60Hz 4,5kW (pumpa za ulje) |
|
Dimenzija i vrsta procesa |
1/4 inča Swagelok |
|
|
Čistoća procesnog gasa |
Industrijska klasa i više |
|
|
Pritisak procesnog gasa (psig) |
10-20 |
|
|
Dimenzija i tip gasovoda za pročišćavanje |
1/4 inča Swagelok |
|
|
Čistoća gasa za pročišćavanje |
Industrijska klasa i više |
|
|
Pritisak plina za pročišćavanje (psig) |
15 |
|
|
Dimenzije i tip pneumatika |
10 mm gurnuti-priključak |
|
|
Čistoća pneumatskog gasa |
Komprimirani zrak, bez ulja-, tačka rose manja ili jednaka 7 stepeni, čestice<5 |
|
|
Pritisak pneumatskog plina (psig) |
70-90 |
|
|
komprimirani zrak (mm) |
∅8 |
|
|
Usklađenost |
Certifikacija |
SEMI |
|
Pomoćna oprema |
Generator azota (opciono) |
Opciono za prečišćavanje dušikom |
|
Hladnjak vode (opciono) |
Opciono za hlađenje elektroda |
|
|
Komplet vodonika (opciono) |
Opciono za tretman vodonikom |
|
|
Procesor izduvnih gasova (opciono) |
Opciono za tretman izduvnih gasova fluorom |
|
|
Prijevoz |
Ukupna težina (kg) |
1050 |
|
Broj paketa |
1 |
|
|
Pakovanje u skladu sa standardom SPM15 |
DA |
|
Popularni tagovi: VP-10S automatski vakuumski sistem za tretman plazmom, VP-10S automatski vakuumski sistem za tretman plazmom